フッ素コーティング
フッ素コート事例
| パーツ | パーツ名 | プロセス／装置メーカー | 目的・効果 |
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排気配管 | ＬＰ-ＣＶＤ/東京エレクトロン | 耐蝕性能 コンタミ対策 |
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排風ファン | 液晶ＣＶＤ/湿式除害メーカー | 耐蝕性能 |
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上・下部リング | ドライエッチャーＣＤＥ/芝浦 | 耐蝕性能 |
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ＤＰＳＵＰＰＥＲチャンバー | ドライエッチャーＣＥＮＴＵＲＡ／ＡＭＡＴ | アルマイト代替 |
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ＭＸＰチャンバー | ドライエッチャーＣＥＮＴＵＲＡ／ＡＭＡＴ | 耐蝕性能 |
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インナーウォール | ドライエッチャーＣＥＮＴＵＲＡ／ＡＭＡＴ | 耐蝕性能 |
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リッド | ドライエッチャーＣＥＮＴＵＲＡ／ＡＭＡＴ | 耐蝕性能 |
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チャンバーライナー | ドライエッチャー/松下電器 | 耐蝕性能 |
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レジストカップ | コーターデベロッパー | 非粘着性能 |
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フレキ配管 | ＣＶＤ除害/熱酸化除害メーカー | 耐蝕性能 |
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石英チューブ | ＬＰ-ＣＶＤ/東京エレクトロン | 非粘着性能 離型性能 |
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チャンバーライナー | ドライエッチャー／ＬＡＭ | 耐蝕性能 |
表面処理技術
CVD、ドライエッチャー等の排気ラインからチャンバー等のウエハープロセスまで幅広い範囲でご利用できます。
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| フッ素コート 耐食性に優れたコートです |
新製品テクノスコート-S 耐プラズマ性と非粘着性に優れています |
