マイクロHOT N2
ターボ分子ポンプを粉体から守る
特許出願中
マイクロ HOT N2
マイクロHOT N2は高温・微少の窒素ガスをターボ分子ポンプ内部に導入して粉体の堆積や固着を防止します。
ターボ分子ポンプのロックトラブルを予防したりオーバーホール費用の削減に有効です。
【マイクロHOT N2の取付図】
【仕様】
ヒーター部サイズ | :80×50×40mm コントローラー別 |
温度範囲 | :40~100℃ |
N2流量 | :0.05~1ℓ/分 |
電源 | :200V、200W |
【マイクロHOT N2の取付画像】