マイクロHOT N2

ターボ分子ポンプを粉体から守る

特許出願中

マイクロ HOT N2

マイクロHOT N2は高温・微少の窒素ガスをターボ分子ポンプ内部に導入して粉体の堆積や固着を防止します。
ターボ分子ポンプのロックトラブルを予防したりオーバーホール費用の削減に有効です。

 

 

【マイクロHOT N2の取付図】

 

【仕様】

ヒーター部サイズ :80×50×40mm
コントローラー別
温度範囲 :40~100℃
N2流量 :0.05~1ℓ/分
電源 :200V、200W

 

 

【マイクロHOT N2の取付画像】

 

 

 

【使用実績】

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