粉体トラップフィルター
テクノスの粉体トラップフィルターは液晶パネルＣＶＤや半導体ＣＶＤなどの粉体処理に最適です。
お客様のプロセスや粉体量、レイアウトに応じた最適トラップフィルターを提案致します。
粉体トラップの設置例
粉体トラップの昇圧が始まるとドライポンプ～粉体トラップ間の圧力が上がります。
具体的にはドライポンプの背圧が上昇します。
通常、これが、0.03MPa位で粉体トラップフィルター交換の目安とされております。
他にドライポンプの電流値やウェハーの処理枚数、真空チャンバーの稼働時間などを目安としているケースもあります。
