製品案内
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マイクロHOT N2ターボ分子ポンプを”クラッシュ”から守り、長期運転をお約束します。 |
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パウダーキラー真空排気配管を分解しないで粉体クリーニングします。 |
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ポンプセーバードライポンプの稼働をサポートする粉体対応の小型真空発生器 |
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集塵機用カートリッジフィルターろ材にフッ素樹脂（PTFE）をコートした耐熱、耐蝕性に優れた、高機能カートリッジフィルターです。 |
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粉体トラップフィルター液晶パネルＣＶＤや半導体ＣＶＤなどの粉体処理に最適です。 |
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大量粉体フィルター真空ポンプ間の狭いスペースに収納出来る箱形粉体トラップです。 |
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ミストトラップフィルターミストトラップフィルターは微細なミスト状の液滴を効率良く粗粒化させてドレインとして捕集致します。 |
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Hot N2 ヒータ真空排気配管を常に清浄を保つ新ツール |
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フッ素コーティングCVD、ドライエッチャー等の排気ラインからチャンバー等のウエハープロセスまで幅広い範囲でご利用できます。 |
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高性能HEPAフィルター半導体・液晶パネルなどのクリーンルームを利用する業界で培われてきたテクノスのフィルター技術は性能だけでなくコストの優位性も兼ね備えています。 |
