うえだ通信
2020-09-30
半導体、液晶プロセスガス排気系研究会（略称SESIL)このブログの読者は商売柄半導体などの真空関連の仕事に従事されている方が多い。 私はテクノスの業務に加えてSESILの事務局も兼務している。
SESILは真空排気系の仕事に携わる技術者の困り事を抽出してこれを解決するするのがひとつの目標。
そこで今取組んでいる課題の中でも最も注力しているテーマは‟ドライポンプの再起動不良対策”
普通に考えるとドライポンプは停止/起動を自由に繰返して運用できるものと思われている。
ところが、CVDやドライエッチャーなどの排気中に副生成物が同伴する重負荷プロセスではドライポンプは1度止めると再起動しない。
原因は副生成物（sio2粉など）がポンプ内部に固着するためだ。
こうなると製造装置を停めて予備ポンプに差替えてオーバーホールなどなど余計な手間と費用が発生するし、生産計画にも影響する。 この問題で半導体工場が被っている損害は甚大。
関係者は問題意識は持っているが、現状に慣れてしまって誰も解決策を真剣に考えていない。
そこで私達SESIL会員メンバーがこの問題に取組んでいるが、今のところ苦戦中。
読者の皆さんの中で知見をお持ちの方がいれば気軽に連絡下さい。
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新しい技術、役に立つ技術を開発するのはそれだけで楽しい。
ファーム便り
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枝豆畑では10月の収穫期に向けて順調に育っています。 |
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近所のぶどう畑で捕獲されたアライグマ。 |
